După cum știm cu toții, unul dintre indicatorii cheie de performanță ai țintei este puritatea. Cerințele de puritate ale țintei diferă în aplicațiile practice. Utilizarea materialului țintă de titan de înaltă puritate este mai costisitoare și are o fereastră de aplicare mai mică decât titanul pur industrial tipic. Utilizat în primul rând pentru a se potrivi nevoilor câtorva sectoare specializate. utilizările principale pentru ținte de titan de înaltă puritate?
Țintele de titan de înaltă puritate sunt utilizate în principal pentru:
1. Componente biologice
Deoarece titanul nu este magnetic, un câmp magnetic puternic nu îl va face să se magnetizeze. Funcționează bine cu corpul uman și nu are efecte secundare negative. Poate fi folosit pentru a crea implanturi pentru corpurile umane. Cu toate acestea, având în vedere dizolvarea impurităților în titan, puritatea titanului pentru implanturi ar trebui să fie cât de mare este posibil. În general, materialele medicale din titan nu ating nivelul de titan de înaltă puritate. Curele biologice pot fi realizate din sârmă de titan de înaltă puritate. Acul de injecție de titan încorporat în cateter a atins, de asemenea, nivelul de titan de înaltă puritate.
2. Materiale pentru decoratiuni
Titanul de înaltă puritate își menține nuanța naturală inițială chiar și după expunerea prelungită la atmosferă datorită rezistenței sale ridicate la coroziune atmosferică. Ca urmare, materialele pentru ornamentație arhitecturală pot fi realizate și din titan de înaltă puritate. În plus, în ultimii ani, titanul a fost folosit pentru a face mai multe accesorii și îmbrăcăminte de lux, inclusiv brățări, ceasuri și rame de ochelari. Titanul este utilizat deoarece este rezistent la coroziune, nu își schimbă culoarea, poate păstra o strălucire bună pentru o perioadă foarte lungă de timp și nu irită pielea umană atunci când intră în contact cu acesta. Nivelul de puritate 5N pentru titanul utilizat în s-au realizat unele ornamente.
3. Adunator de materiale
Titanul este un metal deosebit de reactiv, cu caracteristici chimice care îi permit să interacționeze cu o mare varietate de substanțe la temperaturi ridicate. Adsorbția puternică a gazului activ are loc pe suprafața titanului de înaltă puritate, inclusiv O2, N2, CO, CO2 și vapori de apă. peste 650 de grade. Pe peretele pompei, pelicula de Ti care s-a evaporat poate crea o suprafață cu o capacitate mare de adsorbție. Datorită acestei caracteristici, Ti este utilizat frecvent ca un getter în sistemele de pompare a vidurilor extrem de înalte. Presiunea finală de funcționare a pompei de ioni de pulverizare poate fi de până la 10-9Pa atunci când este utilizat în pompe de sublimare, pompe de ioni de pulverizare, etc.
4. Medii informaționale în formă electronică
Utilizarea titanului de înaltă puritate în ținte de pulverizare, circuite integrate, DRAM și afișaje cu ecran plat sa extins recent ca urmare a expansiunii rapide a industriilor de înaltă tehnologie în domenii precum tehnologia semiconductoarelor și tehnologia informației. Mergeți înainte. Ca bariere de difuzie și materiale de cablare pentru electrozii de control în industria semiconductoare VLSI, compuși de siliciu de titan, compuși de azot de titan, compuși de titan de tungsten, etc. Aceste materiale sunt produse folosind tehnica pulverizarii, care necesită o țintă de titan cu un nivel ridicat. grad de puritate, în special pentru elementele radioactive și metale alcaline.
Recent, a început să fie utilizat titanul de înaltă puritate care se potrivește cu puritatea țintei de titan utilizat în procesul de pulverizare. Puritatea titanului trebuie să fie în prezent de cel puțin 4N5 (99,995%) sau 5N (99,999%) pentru 4 Mbit VLSI, în timp ce trebuie să fie de cel puțin 6N (99,9999%) pentru VLSI de a treia generație de 16 Mbit.
