Definiția produsului
Ținta de pulverizare este unul dintre principalele materiale pentru prepararea peliculelor subțiri prin pulverizare. Procesul de pulverizare este una dintre principalele tehnologii pentru prepararea filmelor subțiri electronice. Utilizează ioni generați de sursa de ioni pentru a forma fascicul de ioni cu viteză mare-după agregarea accelerată în vid înalt, bombardând suprafața solidă. Ionii și atomii de pe suprafața solidă schimbă energie cinetică, determinând atomii de pe suprafața solidă să părăsească solidul și să se depună pe suprafața substratului. Solidul bombardat este materia primă pentru depunerea filmelor subțiri prin pulverizare, care se numește țintă de pulverizare.
Din punct de vedere structural, ținta este compusă în principal din „blank țintă” și „placă din spate”. Printre acestea, semifabricatul țintă este materialul țintă bombardat de un fascicul de ioni de-înaltă viteză, care aparține părții centrale a țintei de pulverizare, implicând reglarea orientării metalului și a cerealelor de înaltă-puritate. Placa din spate joacă rolul principal de fixare a țintei de pulverizare, implicând procesul de sudare. Datorită rezistenței reduse a metalului de-puritate ridicată, ținta de pulverizare trebuie să finalizeze procesul de pulverizare într-o mașină dedicată. Interiorul mașinii este un mediu de-tensiune ridicată, vid-înalt, astfel încât placa din spate trebuie să aibă și o conductivitate electrică și termică bună.
Clasificarea produselor
Forma: poate fi împărțită în ținte lungi, ținte pătrate, ținte rotunde și ținte tubulare. Dintre acestea, cele mai comune ținte sunt ținte pătrate și ținte rotunde, care sunt ținte solide. În prezent, pentru a îmbunătăți rata de utilizare a materialelor țintă, ținte de pulverizare cilindrice goale care se pot roti în jurul componentelor magnetului cu bară fixă sunt promovate în țară și în străinătate. Deoarece suprafața țintă a acestui tip de țintă poate fi gravată uniform la 360 de grade, rata de utilizare poate fi crescută de la obișnuit 20% la 30% la 75% la 80%.
Materiale: Țintele sunt clasificate în ținte metalice (tantal pur, niobiu, vanadiu, hafniu, titan, wolfram, molibden etc.), ținte din aliaj (aliaj de tantalu-niobiu, aliaj de niobiu-tungsten, aliaj de niobiu{-zirconiu}, aliaj de C10{{6}niobiu} 521 aliaj, niobiu-aliaj de titan, nichel-aliaj de titan, aliaj de nichel-cobalt etc.) și ținte de compuși ceramici (oxizi, siliciuri, carburi, sulfuri etc.).
Clasificarea industriei
1) Panoul de afișare țintă industria
În funcție de diferitele procese, țintele din industria FPD pot fi, de asemenea, împărțite aproximativ în ținte de pulverizare și ținte de evaporare. Printre acestea, țintele de pulverizare sunt în principal Cu, Al, Mo și IGZO. Materialele țintă utilizate pentru evaporare sunt în general compuse din două metale: Ag și Mg.
Clasificarea aplicațiilor: panourile de afișare principale sunt împărțite în LCD și OLED. Afișajele cu cristale lichide cu tranzistori cu peliculă subțire (TFT-LCD) oferă avantaje precum subțirea, consumul redus de energie și costurile reduse. În prezent, TFT-LCD-urile reprezintă peste 80% din cota de piață a panourilor de afișare. Aceste panouri de afișare sunt compuse dintr-o gamă largă de celule de afișare cu cristale lichide (de exemplu, un ecran cu rezoluție 4K conține peste 8 milioane de celule), fiecare dintre acestea fiind controlată și condusă de un tranzistor cu film subțire-(TFT) separat.
Industria de panouri OLED în dezvoltare rapidă a înregistrat, de asemenea, o creștere semnificativă a cererii de materiale țintă. Structura tipică OLED implică depunerea unui strat de material-emițător de lumină de zeci de nanometri grosime pe sticlă de oxid de indiu staniu (ITO). Electrodul transparent ITO servește ca anod al dispozitivului, în timp ce molibdenul sau un aliaj servește drept catod.
2) Industria țintă fotovoltaică
Materialele țintă sunt utilizate în principal în bateriile cu heterojoncție și telurura de cadmiu. Țintele ITO sunt materiale de bază pentru depunerea stratului conductor transparent în producția de celule solare cu heterojoncție. Telurura de cadmiu, telurura de cadmiu și seleniura de cadmiu sunt consumabile cheie în producția de celule solare cu film subțire-.
Aplicații: Țintele folosite în celulele fotovoltaice formează electrodul din spate. Electrodul din spate al celulelor solare cu film subțire-format prin ținte pulverizate are trei scopuri principale: în primul rând, servește ca electrod negativ pentru fiecare celulă individuală; în al doilea rând, oferă o cale conductivă care conectează celulele în serie; și în al treilea rând, crește reflectivitatea luminii celulei solare. În prezent, țintele de pulverizare pentru celulele solare cu film subțire-sunt în principal plăci pătrate, cu cerințele de puritate depășind în general 99,99% (4N). Țintele de pulverizare utilizate în mod obișnuit pentru celulele cu peliculă-subțire includ aluminiu, cupru, molibden și crom, precum și ITO și AZO (oxid de aluminiu și zinc). Celulele HIT folosesc în principal ținte ITO pentru filmele lor conductoare transparente. Țintele din aluminiu și cupru sunt utilizate în principal pentru stratul conductiv, țintele de molibden și crom pentru stratul de barieră și țintele ITO și AZO pentru stratul conductor transparent.
3) Industria țintă a semiconductorilor
Industria chipurilor semiconductoare este una dintre principalele domenii de aplicare ale țintelor de pulverizare metalică. Este, de asemenea, domeniul cu cele mai înalte cerințe pentru compoziția, structura și performanța materialelor țintă. Cerința de puritate țintă este de obicei 99,9995% (5N5) sau chiar 99,9999% (6N). Rolul țintelor de pulverizare metalică pentru cipurile semiconductoare este de a face fire metalice pe cip pentru a transmite informații.
Consider că contactarea noastră vă va aduce surprize neașteptate
e{0}}e-mail
kd@tantalumysjs.com
+86 13379388917
Adăuga
Zona industrială a satului Wenquan, zona de dezvoltare Gaoxin, orașul Baoji, provincia Shaanxi, China
