Cred că toată lumea are cunoștințe despre obiectivele de acoperire. El trece prin sistemul de acoperiri. Țintele acoperite cu acoperire dur sunt acum ceva ce înțelegem. Faza finală este rezumată pentru toată lumea de către editor.
Proiectarea compoziției țintei, transformarea structurii cristaline țintei, pregătirea țintei, îmbunătățirea procesului și optimizarea comportamentului pulverizării țintei sunt cele patru domenii cheie actuale de interes pentru cercetarea țintelor de acoperire pentru acoperiri dure. Astăzi, ne vom concentra pe optimizarea comportamentului de pulverizare a țintei, etapa finală a procesului de acoperire cu acoperire dură.
Angajarea țintei în procesul de acoperire ar trebui să fie singurul obiectiv al cercetării țintei. Ținta este situată în camera de vid pe tot parcursul procesului de pregătire a acoperirii cu o stare de plasmă foarte complexă, determinând erodarea metalului țintei. Plasma are un impact asupra traiectoriei atomului. Pentru a menține ținta într-o stare stabilă și bună în timpul construcției, este crucială optimizarea procesului de acoperire. rata de eroziune a țintei și pierderea atomilor de pulverizare în timpul călătoriei atomului de pulverizare. la substrat în timpul procesului de acoperire prin pulverizare cu magnetron a țintei aliajului.
Densitatea curentului ionic și ținta de explozie au cele mai multe efecte asupra randamentului de pulverizare a țintei. Pierderea în unghi și pierderea prin împrăștiere sunt cele două tipuri principale de energie ionică, pierderea atomului prin pulverizare. Densitatea și energia particulelor care atacă ținta pot fi modificate prin modificarea curentului țintă. Otrăvirea țintei poate fi făcută mai eficientă prin ajustarea presiunii parțiale a azotului. Rata cu care atomii de metal se deplasează pe substrat poate fi controlată eficient prin ajustarea polarizării substratului. Pentru a pregăti o acoperire de calitate superioară, materialul țintă poate fi realizat pentru a se potrivi mai bine cu mediul camerei de vid de acoperire prin reglarea parametrilor procesului.
Putem beneficia de faptul că creșterea rapidă a industriei electronice a declanșat progrese semnificative într-un număr de afaceri adiacente. Progresul științei și tehnologiei este condus de vremuri. Obiectivele acoperite cu acoperire dur sunt unul dintre marii câștigători, alături de noi.
