Ce tipuri de materiale țintă există?(1)
Care sunt materialele vizate?
Ținta este de fapt un concept larg. Există trei moduri de a clasifica materialele țintă:
1. În funcție de dimensiunile exterioare, poate fi împărțit în ținte cilindrice, dreptunghiulare, pătrate și ținte tub. În funcție de material, materialele țintă pot fi împărțite în ținte metalice, ținte ceramice polimerice nemetalice și ținte din aliaj etc.;
2. În funcție de material, materialele țintă pot fi împărțite în ținte metalice convenționale, ținte de metale prețioase, ținte de metal cu pământuri rare, ținte nemetalice, ținte de pulverizare cu aliaje, ținte de pulverizare ceramică etc.;
3. În funcție de domeniul de aplicare, poate fi împărțit în ținte pentru semiconductori, ținte pentru panouri de afișare, ținte pentru celule solare, ținte pentru înregistrare magnetică etc.
Clasificare după forma țintei
Țintele comune sunt în mare parte ținte pătrate și ținte rotunde, care sunt ținte solide. În operațiunea de acoperire, câmpul magnetic generat de magnetul permanent circular de pe suprafața țintei este inelar, se va produce eroziune neuniformă, uniformitatea grosimii filmului pulverizat nu este bună, iar eficiența de utilizare a țintei este de numai aproximativ 20. % până la 30%. Ținta tubului gol în curs de promovare se poate roti în jurul unui ansamblu de magnet cu bară fixă pentru o anumită perioadă de timp, iar suprafața țintei de 360 de grade poate fi gravată uniform, ceea ce are avantaje evidente și crește rata de utilizare la 80%.
Clasificarea după materialul țintă
Țintele metalice convenționale:
|
Tinta din aluminiu Al |
Tinta de cupru Cu |
Crom țintă Cr |
Bariu tinta Ba |
|
țintă de bismut Bi |
Tinta de cadmiu Cd |
Țintă de zirconiu Zr |
Țintă de zinc Zn |
|
Țintă de nichel Ni |
Ținta de cobalt C |
Calciu tinta Ca |
Țintă de niobiu Nb |
|
ținta Indiului In |
Ținta de tungsten W |
Molibden tinta Mo |
Ținta de vanadiu V |
|
Tinta de fier Fe |
Tinta de titan Ti |
Ținta de hafniu Hf |
ținta de ytriu Y |
|
Țintă de tantalu Ta |
Litiu tinta Li |
Tinta de magneziu Mg |
Tinta de tabla Sn |
|
Tinta de mangan Mn |
Pb țintă de plumb |
Țintă de siliciu Si |
Tinta din aluminiu Al |
|
Bțintă de eriliu Be |
Tinta de cupru Cu |
Scandium tinta Sc |
|
Targ de metal pretios
ets:
|
Tinta de argint Ag |
Tinta de aur Au |
Tinta de platina Pt |
Țintă de paladiu Pd |
|
Țintă de rodiu Rh |
Tinta de iridiu Ir |
ținta reniului Re |
Ținta de ruteniu R |
Țintele din metale din pământuri rare:
|
Lantanul tinta La |
Ceriu tinta Ce |
Ținta de praseodim Pr |
|
ținta samariului Sm |
Europium target Eu |
Ținta Gadoliniu Gd |
|
Ținta disproziei Dy |
Holmium tinta Ho |
țintă de erbiu Er |
|
țintă de iterbiu Yb |
Lutetium tinta Lu |
Tțintă de tuliu Tm |
|
țintă de terbiu Tb |
Ținta de neodim Nd |
|
Ținte nemetalice:
|
Ținta de grafit C |
Ținta de bor B |
Ținta de germaniu G |
|
Seleniu tinta Se |
Tinta de antimoniu Sb |
Telurul tinta Te |
Căutări fierbinți: materiale țintă, material țintă de pulverizare, material țintă de tantal, material țintă de niobiu, material țintă de vanadiu, aplicarea materialului țintă, dimensiunea materialului țintă.





