1. Folosind un magnetron pentru a pulveriza
Există trei tipuri de pulverizare cu magnetron: radiofrecvență, frecvență intermediară și pulverizare DC.
A. Densitatea filmului de depunere este scăzută, iar sursa de alimentare DC pulverizată este ieftină. În mod obișnuit, bateriile fototermale și cu peliculă subțire de uz casnic aleg să folosească tehnica, deoarece necesită puțină energie și utilizează metal conducător ca țintă de pulverizare.
B. Energia pulverizării RF este destul de mare. O țintă conductivă sau o țintă neconductivă poate fi utilizată ca țintă de pulverizare.
C. O țintă de metal sau ceramică poate fi utilizată ca țintă de pulverizare cu frecvență medie.
2. Clasificarea și utilizarea țintelor de pulverizare
Țintele de pulverizare vin într-o varietate de forme și dimensiuni și nu sunt toate clasificate în același mod. Ele pot fi clasificate în ținte lungi, ținte pătrate și ținte rotunde în funcție de formă și în ținte metalice, ținte din aliaj și ținte din compuși ceramici pe baza compoziției. Poate fi împărțit în ținte ceramice legate de semiconductori, ținte ceramice pentru medii de înregistrare, ținte ceramice pentru afișaje etc. pe baza diferitelor domenii de aplicație. Sectoarele electronice și informaționale, inclusiv stocarea informațiilor, sunt principalii utilizatori ai țintelor de pulverizare. Hard disk-uri, capete magnetice, discuri optice și alte produse asociate cu film subțire sunt create în această afacere folosind ținte de pulverizare.
În prezent. Piața pentru înregistrarea țintelor ceramice medii înregistrează o creștere a cererii datorită creșterii continue a industriei informaționale, iar cercetarea și dezvoltarea țintelor medii de înregistrare primesc acum multă atenție mass-media.





